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X射線/ EUV過濾器
它是一種過濾器，將特定波長的EUV光（極紫外，極紫外）與可見光和不必要的EUV光分開。
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EUV濾光片
由于它是一款自立式EUV濾光片，因此具有出色的透光率和平整度。 另外，還有一個帶有抗氧化膜的過濾器。 由于耐氧化性優異，因此與通常的過濾器相比，透過率的劣化小。
主要用途
·?將高次諧波從基波中分離出來；
·?去除不需要的波長，如同步輻射，等離子體X射線等；
·?預防等離子體X射線中的碎片；
·?真空窗，差壓窗口
對應波長區
·?可以對應于每個極紫外線和軟X射線波長區域。
·?近波長13.5nm（Zr過濾器）
·?近波長29.6nm（鋁過濾器）
·?近波長61.5 nm（Sn濾光片）
支撐薄膜
·?它可以在各種支撐薄膜和支撐上形成；
·?聚合物膜支撐過濾器；
·?網格支撐濾器；
·?SiN膜支撐濾器；
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其他種類
各種材料透射率的計算值（膜厚度：100nm）：
我們還設有層壓膜過濾器，硬X射線過濾器等產品。
