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六自由度位移平臺

六自由度位移平臺可實現(xiàn) X、Y、Z、α、β、Ψ運動維度調(diào)節(jié),可帶動系統(tǒng)進行精密位置調(diào)整。該平臺設(shè)計使其比串聯(lián)運動系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性,動態(tài)范圍更大,無移動電纜:更穩(wěn)定、摩擦更小。

性能參數(shù):

·? 運 動 維 度? :X、Y、Z、α、β、Ψ

·? X、Y 行程:±8mm、±8mm

·? Z? ? ? ?行程:? ?±9mm

·? α、β行程:±3°

·? Ψ? ? ? ? 行程:±5°

·? 推進設(shè)備分辨率:1μm

·? X、Y 運動精度:5μm

·? Z運動精度:3μm

·? X、Y 重復(fù)運動精度:2μm

·? Z ?重復(fù)運動精度:2μm

·? α、β運動精度:0.069mrad

·? X、Y 移動速度:1mm/s

·? Z移動速度:2mm/s

·? 負載(水平):100kg

·? 質(zhì)量:10.5kg

·? 尺寸(直徑*高度):390mm*310mm

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